留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

多线切割机线张力自适应控制仿真研究

黄洁 李伟

黄洁, 李伟. 多线切割机线张力自适应控制仿真研究[J]. 机械科学与技术, 2012, 31(3): 437-441.
引用本文: 黄洁, 李伟. 多线切割机线张力自适应控制仿真研究[J]. 机械科学与技术, 2012, 31(3): 437-441.
Huang Jie, Li Wei. Simulating Adaptive Control over Wire Tension of Multi-wire Saw[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2012, 31(3): 437-441.
Citation: Huang Jie, Li Wei. Simulating Adaptive Control over Wire Tension of Multi-wire Saw[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2012, 31(3): 437-441.

多线切割机线张力自适应控制仿真研究

基金项目: 

国家自然科学基金项目(50775207)

浙江工业大学机械电子重中之重学科开放基金项目(2009EP017)资助

详细信息
    作者简介:

    黄洁(1987-),硕士研究生,研究方向为半导体材料精密加工设备控制系统设计,phyhjie@163.com;李伟(联系人),教授,博士,weilihz@189.cn

    黄洁(1987-),硕士研究生,研究方向为半导体材料精密加工设备控制系统设计,phyhjie@163.com;李伟(联系人),教授,博士,weilihz@189.cn

Simulating Adaptive Control over Wire Tension of Multi-wire Saw

  • 摘要: 针对力矩电机张力控制方式的特点,分析和建立了多线切割机张力控制系统的数学模型,并在此基础上,设计了线张力自适应控制算法。该算法通过张力控制电机反馈的转速和转角大小,利用NLMS算法对收/放线电机的转速进行自适应动态修正,提高对主轴电机的线速度跟随精度,最终达到精确控制张力的目的。Matlab仿真结果表明:该控制算法对张力的控制精度高、响应速度快,可以满足多线切割加工对张力控制的要求。
  • [1] Hahn P O.The 300 mm silicon wafer-a cost and technology chal-lenge[J]. Microelectronic Engineering,2001,56:3~13
    [2] Pei Z J,Fisher G R,Liu J.Grinding of silicon wafers:a reviewfrom historical perspectives[J]. International Journal of Ma-chine Tools&Manufacture,2008,48:1297~1307
    [3] 张波,刘文涛,胡晓冬等.线锯切割技术的应用与发展[J]. 超硬材料工程,2008,20(1):45~48
    [4] 梁永等.多丝切割机走丝系统的张力控制[J]. 机械科学与技术,2006,25(8):980~983
    [5] 张义兵,戴瑜兴,汤睿.多线切割机速度同步系统的自适应逆控制[J]. 控制理论与应用,2008,25(6):1007~1015
    [6] 栾宗涛,陶涛,梅雪松等.交流伺服系统脉冲序列位置控制研究[J]. 西安交通大学学报,2009,43(12):35~39
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  196
  • HTML全文浏览量:  15
  • PDF下载量:  5
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2010-09-21
  • 刊出日期:  2015-06-10

目录

    /

    返回文章
    返回