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基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法

张铁 邝健麟

张铁, 邝健麟. 基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法[J]. 机械科学与技术, 2013, 32(10): 1556-1560.
引用本文: 张铁, 邝健麟. 基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法[J]. 机械科学与技术, 2013, 32(10): 1556-1560.
Zhang Tie, Kuang Jianlin. A Method of Apparent Defect Inspection for Quartz Wafers Based on Computer Vision[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2013, 32(10): 1556-1560.
Citation: Zhang Tie, Kuang Jianlin. A Method of Apparent Defect Inspection for Quartz Wafers Based on Computer Vision[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2013, 32(10): 1556-1560.

基于机器视觉石英晶片外观的缺陷检测方法

基金项目: 

国家863科技计划项目重点项目(200904AA043903-3)

广东省教育部产学研结合项目(2010B090400259,2011B090400150)资助

详细信息
    作者简介:

    张铁(1968-),教授,博士生导师,研究方向为工业机器人、服务机器人,rabbitqler@qq.com

A Method of Apparent Defect Inspection for Quartz Wafers Based on Computer Vision

  • 摘要: 针对石英晶片的外观缺陷检测技术的不足,提出一种基于机器视觉开发软件对石英晶片外观缺陷检测方法,对石英晶片生产过程中出现的外观缺陷进行了分析,提出了缺陷检测的流程,建立了基于几何特征的模板定位算法和基于Blob算法的缺陷分析算法,实现了对图像的获取、边缘检测、定位、识别和斑点分析,在C#环境下对其图像处理技术利用机器视觉软件进行了开发,搭建了石英晶片的外观缺陷检测实验平台,通过摄像机实现了石英晶片的外观图像的捕获,利用视觉软件获得石英晶片的外观质量,最后对此系统进行了测试。实验表明:该石英晶片外观缺陷检测方法具有检测速度快、精确度达到99.7%、匹配误差小于0.3等优点,可满足现场使用的要求。
  • [1] 邱敏. 基于图像处理的石英晶体片分选系统[J]. 仪表技术与传感器,2007,(12):66~68
    [2] 孙彦春. 基于数字图像处理的水晶晶片缺陷检测[D]. 南京:南京理工大学,2009
    [3] 刘建群,旷辉,李仕勇等. 基于机器视觉的硬盘驱动架尾孔尺寸检测系统[J]. 机械科学与技术,2007,26(4):463~467
    [4] 陈伟华,马琼雄,陈月军. 基于 VisionPro 的工业机器人视觉定位系统[J]. 组合机床与自动化加工技术,2012,(2):81~83
    [5] 赵文宏,赵蓉,邓乾发等. 石英晶片加工现状与发展[J]. 航空精密制造技术,2011,47(1):11~14
    [6] Guzzo P L,Raslan A A,De Mello J D B. Ultrasonic abrasion ofquartz crystals[J]. Wear,2003,255:67~77
    [7] Hussein W B,Moaty A A,et al. A novel edge detection methodwith application to the fat content prediction in marbledmeat[J]. Pattern Recognition,2011,44(12):2959~2970
    [8] Pratt W K. Digital Image Processing[M]. Hoboken,New Jersey:John Wiley & Sons,Inc.,2007:388~392
    [9] 石美红,王文光. 基于 Blob 算法的织物疵点检测算法的研究[J]. 现代电子技术,2010,335(24):29~32
    [10] Rafael C. Gonzalez,Richard E. Woods 著,阮秋琦,阮宇智等译. 数字图像处理[M]. 北京:电子工业出版社,2007
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-05-24
  • 刊出日期:  2015-06-10

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